1.仪器名称：TESCAN扫描电镜

2.仪器型号： Tescan VEGA 3 XMU

3.仪器技术参数：

（1）分辨率：高真空（二次电子）3.0nm at 30keV，8.0nm at 3keV，（背散射电子）：3.5 nm at 30 keV。 低真空（低真空二次电子）：3.5 nm at 30 keV

（2）放大倍数：1 to 100000

（3）真空系统：低真空3~2000Pa

（4）加速电压：0.2KV to 30KV

（5）电子束电流：1pA—2uA

（6）样品室内部尺寸：285mm(width)×340mm(depth)
（7）样品台行程：(5轴马达控制） X=130mm ，Y=130mm，Z=100mm

样品台最大承受重量10Kg，是现有可载重最大的扫描电子显微镜之一。

Tescan VEGA 3 XMU扫描电镜

金杯本体区域的扫描电镜图像和所选取区域对应的能谱图